Etileno oxidoa (EtO) esterilizazioa batez ere tenperatura altuko lurrun esterilizazio konbentzionala onartzen ez duten produktu medikoak eta farmazeutikoak esterilizatzeko erabiltzen da, hala nola osagai elektronikoak, plastikozko ontziak edo plastikozko ontziak barne hartzen dituzten gailuak.
EtO gasak paketeak eta produktuak berak infiltratzen ditu ekoizpen edo ontziratze prozesuetan geratzen diren mikroorganismoak hiltzeko.Gas horrek, airearekin nahastuta, gutxienez % 3ko EtO gasaren proportzioan, nahaste lehergarria osatzen du.EtO gasaren irakite-puntua 10,73 ºC-koa da presio atmosferikoan.Gehienetan, Nitrogenoarekin edo CO2arekin nahasten da.Lehergai-egoera honek berezko segurtasun materiala (ATEX) zonifikazioa behar du, pertsonen segurtasunerako eta baita prozesuaren beraren segurtasunerako.